線(xiàn)切割機用于減速器關(guān)鍵零組件的切割加工,具備長(cháng)期穩定的高精度加工性能,可使減速器的關(guān)鍵零組件在淬火后的半精加工后余量控制在微米級,大幅提高了末段工藝設備的產(chǎn)能,進(jìn)而有助于降低減速器在量產(chǎn)過(guò)程中對部分國外進(jìn)口機床的被動(dòng)依賴(lài)。 是通過(guò)纏繞在主軸上的金剛線(xiàn)高速往復運動(dòng),將半導體等硬脆材料同時(shí)切割為數百片薄片的切割加工方法。已逐漸取代了內圓切割,成為半導體磁材、硅片、寶石等切割加工的主要方式,有高精度、高速度、低損耗等優(yōu)點(diǎn)。
控制系統中張力控制、收放線(xiàn)電機和主電機的同步運行是控制的關(guān)鍵技術(shù)。一般多線(xiàn)切割機都配備有主軸電機、收線(xiàn)電機、收線(xiàn)排線(xiàn)電機、收線(xiàn)張力電機、放線(xiàn)電機、放線(xiàn)排線(xiàn)電機、放線(xiàn)張力電機、工作臺升降電機等,早期的控制系統一般都是采用臺達的DVP10MC11T,它是基于現場(chǎng)總線(xiàn)的多軸控制器,它遵循基本通訊協(xié)議和DSP402運動(dòng)控制協(xié)議,支持大部分運動(dòng)控制標準指令庫。
特點(diǎn):
?。?)hct-b6多線(xiàn)切割設備集成了化學(xué)、物理、機械、電氣等方面技術(shù)。
?。?)擁有高精度4軸排線(xiàn)導輪驅動(dòng)裝置技術(shù)。增大了切割能力。
?。?)切割進(jìn)給伺服系統。配合線(xiàn)絲張力自動(dòng)控制系統的作用,保證在不斷絲條件下實(shí)現切割的高效性。
?。?)使用漿料回收系統,漿料可直接從漿料缸取出回收利用。節省了大部分的漿料成本。
?。?)片厚平均厚度誤差小,適合大規模制造。
在切割時(shí),主軸電機先正轉一段距離(設為A米),然后再反轉一段距離(設為B米),根據實(shí)際情況,0.5M<A-B<1.5M,保證在多次往復運動(dòng)中,將新的切割線(xiàn)逐漸放出,已使用的切割線(xiàn)逐漸收回。在主軸運行的同時(shí),收放線(xiàn)電機要保持與主軸電機的線(xiàn)速度同步。由于在運行中,收放線(xiàn)輪的直徑會(huì )一直變化,如果不調整收放線(xiàn)電機的旋轉速度,主軸上的線(xiàn)速度和收放線(xiàn)輪上的線(xiàn)速度偏差會(huì )越來(lái)越大,將會(huì )拉斷切割線(xiàn),此時(shí),需要要根據張力輪的位置,去實(shí)時(shí)調整收放線(xiàn)電機的旋轉速度,這是整個(gè)控制系統中最為關(guān)鍵的地方。
線(xiàn)切割機晶片的彎曲度(bow)小,翹曲度(Warp)小,平行度(Tarp)好??偤穸裙钚。═TV)小,片間切割損耗少,加工晶片表面損傷層淺,粗糙度小,切片加工出片率高,生產(chǎn)效率高,投資回報呂高。
因此,應用線(xiàn)切割機是發(fā)展規?;a(chǎn)和提高生產(chǎn)效率的必然選擇,使用多線(xiàn)切割機加工各類(lèi)晶片是必然趨勢,特別適用于太陽(yáng)能光伏電池超薄機基片的批量加工。